1협의체 소개 EUV-IUCC(Industry-University Collaboration Center)의 위상
- EUV-IUCC는 글로벌 기업 및 국내 기업이 지원하는 EUV 노광기술 산학협력센터
- EUVL Webinar, EUVL Workshop, EUVL Showcase, 차세대리소그래피학술대회 등의 공동개최 기관
- 2020년 과학기술정보통신부에서 지정 받은 유일한 대학주도의 품목지정 국가지정연구협의체
- 극자외선 노광기술분야 학회지 및 학술대회 개최
- EUVL 최신 기술 동향, 연구 자료 정보망 구축
- 신규 공정 개발 현황 및 현 공정 기술 문제점 공유
- 장비, 공정, 재료 분야별 EUVL 기술 정보 공유
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EUVL 노광 기술 분야 국제 학술대회 공동 개최
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전문 인력 양성을 위한 온라인 교육 및 단기 강좌 개설
2구성·조직 산업체-대학-연구기관 기술지식 전문가 집단
- 산, 학, 연 기술전문가 145명의 지식 집단
- 소재·부품·장비분야 산업체 25개사 단체회원
- 에프에스티, 디일렉, 알파그래핀, 이솔, SK 실트론, 에스앤에스택, 영창케미칼, 솔브레인, 피에스케이, 넥스틴, 대한광통신, 동우화인켐, 에이에스엠엘코리아, 페디셈, 램리서치, 선익시스템, 비코코리아, 큐알티, 한국바스프, 디엔에프, 이지티엠, 파크시스템즈, 오성엘에스티, 휴넷플러스, 도쿄일렉트론코리아
- EUV 공정
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안진호 교수- 한양대 신소재공학부
- ex-NEC
EUV마스크, EUV 펠리클, EUV현미경
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오혜근 교수- 한양대 응용물리학과
- ex-Hyundai
광학 시뮬레이션
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성명모 교수- 한양대 화학과
EUV 포토레지스트
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박진성 교수- 포항가속기연구소
- ex-PSI
EUV 레지스트 평가, EUV 검사장비
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김태곤 교수- 한양대스마트융합공학부
- ex-IMEC
AFM 분석
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- EUV 연관 기술
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박진구 교수- 한양대 재료화학공학부
세정기술
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육세진 교수- 한양대 기계공학부
입자 오염
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김학성 교수- 한양대 기계공학부
- ex-Samsung
기계적 시뮬레이션
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이상설 교수- 한양대 신소재공학부
- ex-Samsung
소재 개발 및 응용
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- 해외대학
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김지영 교수- UT-Dallas
- 2019-2020 Invited
ALD/EUV 레지스트 개질
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Greg Denbeaux- SUNY-Albany
- 2020-2020 Invited
EUV 레지스트 평가
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- 기획&운영
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남정림- 연구위원
- ex-Samsung
기술기획
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이원영- 행정실장
운영지원
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3EUV-IUCC 관리 및 운영
4지원분야 (지원범위,지원시설) EUV-IUCC 지원분야 및 지원내용
EUV-IUCC 보유 인프라
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Optical Simulation
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Thermo-Mechanical Simulation
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Mask Material
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Pellicle Design & Fab.
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Optical Evaluation
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Themo-Mechanical Evaluation
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Contamination Analysis & Cleaning
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EUV Resist Evaluation
5EUV-IUCC(Industry-University Collaboration Center) 회원사 운영 방안
| 멤버쉽등급 | VIP | Diamond | Gold | Silver | Bronze |
|---|---|---|---|---|---|
| 추천 대상 | 연구개발협력사 | 전략적파트너 | 관련기술 개발기업 |
관련사업 탐색 기업，투자사 |
개인 |
| 연회비（부가세 별도） | 한도없음 | 1 천만원 | 500만원 | 300만원 | 100만원 |
| 장비사용 | 50%할인 | 20%할인 | 실비청구 | 실비청구 | - |
| 공동기기실 예약서비스 | 가능 | 가능 | 가능 | 가능 | - |
| 해외 평가시설 연계 서비스 | 가능 | 가능 | 가능 | - | - |
| 최신 기술 동향 리포트 | 연 6회 | 연 6회 | 연 3회 | 연 3회 | 연 2회 |
| 센터 유료 세미나 할인 | 무료 | 무료 | 50% 할인 | 30% 할인 | 20% 할인 |
| 회원사교류회（연 2회） | 2인 | 2인 | 1인 | 1인 | - |
| 회원사워크숍（연 2회） | 5인 무료 | 5인 무료 | 3인 무료 | 2인 무료 | 1인 무료 |
- 멤버쉽은 산학협력 관계를 유지하기 위한 필요조건이며 상호 필요에 따라서 산학협력과제는 추가로 의뢰가 가능합니다.
- 정부의 연구개발사업에 공동참여를 위해서는 Gold level 이상의 멤버쉽이 필요합니다.
- COVID-19 등과 같은 불가항력적인 상황에 따라서 개별 혜택의 내용과 횟수는 변경될 수 있으며 추후 보완을 위해 노력할 것입니다.
6기업 대상 안내 가능한 지원 항목
- EUV 관련 소부장 분야 애로기술 해결을 위한 기술자문, 기술개발 지원 및 평가 Tool 제공
- EUV-IUCC를 통한 기업 회원제 프로그램 연계
- EUV-IUCC를 활용한 지속적인 기술자문 운영
7담당자정보
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- 실무 담당자
남정림 연구위원
- E-mail
jlnam@hanyang.ac.kr
- Tel
02-2220-4407
- 실무 담당자
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- 실무 담당자
이원영 행정실장
- E-mail
zgzg79@naver.com
- Tel
02-2220-4407
- 실무 담당자
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