N-FACILITY

국가연구시설

소재·부품·장비분야 산업현장의 기술적 난제 및
애로사항 해결을 지원합니다.

1협의체 소개
  • 수도권 소재, 조각시편부터 8인치 웨이퍼까지 가능한 실리콘 및 화합물 반도체 산학연 연구개발 전문 지원기관
  • 단위/일괄 공정(시제품 개발) 및 시험분석 지원
  • 반도체 전문 인력 양성을 위한 실습 교육 지원
협의체 소개
2구성·조직(시설현황 등)
구성·조직
3지원분야(지원범위, 지원시설)
  • 조각부터 8인치 웨이퍼 반도체 단위/일괄 공정을 통한 소자 개발
  • Si, III-V, Glass, Flexible 등 다양한 종류의 기판 공정 지원
  • III-V, III-N Epi 웨이퍼 및 소자 개발
  • 반도체, 디스플레이, 이차전지 분야 전기적, 물리적 시험분석 지원
  • 반도체 분야 산학연 전문인력 양성 및 실습교육 지원
  • 클린룸 공간 임대를 통한 반도체 소재·부품·장비 기업 연구개발 지원
나노팹 서비스를 통한 지역경제 활성화 및 국가산업발전에 기여

나노팹 서비스를 통한 지역경제 활성화 및 국가산업발전에 기여

4지원절차(서비스 이용 방법 등)
  • 홈페이지 방문, 단위/일괄 공정 및 시험분석 장비 별 담당자 사전 협의
  • 연구개발 확정 후 홈페이지 팹공정 및 시험분석 서비스 신청
  • 팹공정 또는 시험분석 결과물 고객 송부 (이용료 청구)
One Stop R&D Foundry Service
One Stop R&D Foundry Service
One Stop R&D Foundry Service Procedure
One Stop R&D Foundry Service Procedure
5보유 연구시설 장비
  • 수도권 소재 1,000 여평 규모, Class 1~100 반도체 공정 클린룸
  • 조각부터 8인치 웨이퍼까지 반도체 공정 장비를 활용하여 소자 시제품 개발부터 시험분석까지 가능한 180 여대 연구 장비 운영
  • 연간 20,000 여건의 연구 장비 활용을 통한 산학연 연구개발 지원
대표 연구시설·장비
  • E-beam lithography I, II
    E-beam lithography I, II
      • ＞20 nm 패턴 노광 2~8인치 웨이퍼
      • JBX9300FS / JEOL
      • JBX6000FS / JEOL
  • ICP Etcher, Deep RIE, RIE
    ICP Etcher, Deep RIE, RIE
      • Metal, Si, 화합물, SiO2/SiNx 식각 조각 ~ 8인치 웨이퍼
      • MULTIPLEX ICP / STS
      • ICP 380 / OXFORD
      • AMS 200 / Alcatel
      • P5000 RIE / AMAT
      • Unity IIe 855SS / TEL
  • Sputter, E-beam evaporator
    Sputter, E-beam evaporator
      • Ti, Au, Cu, Al 등 다수 Metal 증착 조각 ~ 8인치 웨이퍼
      • SME200J, ULDiS-4540SV / ULVAC
      • Endura-5500 / AMAT
      • EI-5 / ULVAC
      • UEE / Ultech
  • MOCVD
    MOCVD
      • GaN / GaAs, InP Epitaxy 조각 ~ 6인치 웨이퍼
      • AIX200/4 RF / AXITRON
      • AIX2400 G3 / AXITRON
      • Crius-R, Crius / AXITRON
      • E300 GaNZila / Veeco
  • KrF, I-Line Stepper
    KrF, I-Line Stepper
      • ＞150 nm, ＞500 nm 패턴 노광 8, 6인치 웨이퍼
      • PAS 5500/350C / ASML
      • I9C / Nikon
  • Metal/Oxide CMP
    Metal/Oxide CMP
      • Metal, 산화막 평탄화 8인치 웨이퍼
      • Metal, 산화막 평탄화 8인치 웨이퍼
      • F-REX200 / EBARA
  • Metal, Insulator ALD
    Metal, Insulator ALD
      • TiN, Co, Ru, Al2O3, ZrO2, HfO2 조각 ~ 12인치 웨이퍼
      • LUCIDA M300PL_M / NCD
      • LUCIDA M300PL_O / NCD
  • DC, RF Measurement System
    DC, RF Measurement System
      • MOSFET, IGBT, HEMT 전기적 특성 조각 ~ 8인치 웨이퍼
      • TESLA 200, B1505A / FormFactor, Keysight
      • MT1000E2 / Maury Microwave
  • Dual beam FIB
    Dual beam FIB
      • TEM시편제작, 단면 구조 분석 조각 ~ 8인치 웨이퍼
      • Helios 5 UX / ThermoFisher
      • NOVA 600, Quanta 3D FEG / FEI
  • HR-TEM, XPS
    HR-TEM, XPS
      • HAADF-STEM, EELS 분석
      • Depth profile, ARXPS, UPS 분석
      • JEM-2100F + Cs corrector / JEOL
      • JEM-2100F + Cs corrector / JEOL
6기업 대상 안내 가능한 지원 항목

반도체, 디스플레이 분야 소부장 연구개발에 필요한 일괄/단위 공정 및 시험분석 서비스 제공

7담당자정보
    • 연구 책임자

      박문희

    • E-mail

      moonhee.park@kanc.re.kr

    • Tel

      031-546-6219

    • 실무 담당자

      장민철

    • E-mail

      minchul.jang@ kanc.re.kr

    • Tel

      031-546-6224

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